Cтруктурні властивості та елементний склад плівок ZnO нанесених методом спрей-піролізу

Abstract

Оксид цинку (ZnO) – прямозонний напівпровідник n-типу провідності з широкою забороненою зоною (Eg = 3,37 еВ при T = 300 K) та великою енергією утворення екситонів (60 меВ). Оскільки ZnO не містить рідкісних елементів, він виступає альтернативою традиційним матеріалам прозорих провідних шарів ITO ((In2O3)0.9–(SnO2)0.1) та FTO (SnO2:F)) тонкоплівкових сонячних елементів. В порівнянні з іншими методами нанесення плівок оксиду цинку, спрей-піроліз є простим, відносно дешевим, безвакуумним методом нанесення шарів великою площі на підкладках з різних матеріалів. При використанні цього методу властивості тонких плівок залежать від вибору прекурсорів та фізико-технологічних умов їх нанесення. У зв’язку з цим метою даної роботи стало дослідження впливу температури підкладки на структурні властивості та елементний склад плівок ZnO нанесених методом спрей-піролізу.